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Semitronix首台WAT测试设备T4000顺利完成交付

发布日期 : 2018-11-27

近日,Semitronix顺利完成了第一台量产用WAT测试机Semitronix Tester T4000交付。目前测试机已在客户端完成安装调试和验收工作,设备性能稳定、运行可靠,技术指标完全符合客户的预期要求。

十年磨一剑,Semitronix2010年就开始晶圆级电性测试机的研发。从最初的硬件架构设计、工程机的研发、客户端试用、设备升级到满足WAT机台的技术指标经历了稳步前进的发展过程。期间,研发用测试机获得海内外多家知名半导体企业采购使用,并得到了客户的高度认可,为我们最终进入WAT设备市场奠定了坚实的基础。

Semitronix首台量产用WAT测试机的成功交付和验收标志着公司测试机产品正式进入WAT(Wafer Acceptance Test)市场,是公司硬件设备产品发展过程中的重要里程碑。目前Semitronix测试机中心已经能够满足批量设备的订购生产,同时公司还提供设备的定制服务。

随着集成电路工艺节点的不断推进,晶圆级WAT的测试效率成为制约晶圆厂研发进程和生产效率的关键因素。Semitronix的第四代高速半导体电性测试机(Semitronix Tester IV)具有测试灵活、测试速度快、测试精度高等核心优势,能够为客户提供准确且高度自动化的WAT与测试芯片测量解决方案,可以用于快速和精确地监控工艺及可靠性。

 

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    Id-Vg曲线 

 

 

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小电流可重复性(Ioff)

 

• 在测试功能上,兼容行业标准的晶圆探针台,能够提供WAT测试中所需评估的所有测试项,支持标准与并行两种测试模式;

• T4000最多支持到48个测试通道(pads),T4100最多支持到128个测试通道;

• 最多可配置22SMU通道,包括快速SMU和高精度SMU的优化配置;

• 包括LCR MeterPulse GeneratorFMU (Frequency Measurement Unit)等测试单元;

• 配备高性能的切换矩阵。通过切换矩阵,所有的测试单元能够被所有测试通道共享, 极大的提高了硬件的利用率从而降低了测试成本;

• 在测试速度上,相对于普通测试机有4X10X的提升;

• 在测试精确度上,小电流测试精确度达到pA级以下直至0.1pA,电容测试精确度达到0.1 pF级以下;

• 提供完整和灵活的软件环境:Algorithm BuilderTest Plan Builder和 Framework。支持FabEAP系统从而实现全自动测试;

• 在产品质量上,遵循最严格的产品质量标准,其安全性标准已经过权威第三方检测获得了欧盟CE认证。

 

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Semitronix高性能WAT测试机的研发完成并成功产业化,完善了公司集成电路成品率提升和工艺监控的产品生态链,增强了公司的技术实力和市场竞争力。同时,该产品的推出也为全球集成电路行业发展提供了有力的支持,也将为支持国内高端集成电路产业链完善,进而推动国内整个集成电路行业的发展和升级起到重要的作用。