股票代码:301095
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DE-iCASE
半导体缺陷异常智能化诊断系统

简介

线上DefectCase的处理在很⼤程度上依赖⼯程师的经验,数据的捞取和整理也需投⼊⼤量的人力。广立微DE-iCASE深度融合AI模型,结合Case知识库,可实现异常状态的⾃动溯源。DE-iCASE提供了告警,分析,追踪,归档的全流程服务,Case匹配耗时仅为秒级。

设计优势

功能模块

Alarm System

同步MES

独立告警

诊断历史Lot

Tracking System

持续跟踪异常Lot

支持工程师的日常交接

Analysis System

丰富的交互式图表

全面分析Lot Process History

自动汇总异常信号

秒级匹配历史Case

Case Library

灵活的Case Search

详尽的Case知识库

持续的Impact跟踪

长期的Case Summary

Defect Notice

大模型知识问答