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量产监控解决方案
从设计、测试到分析全面提升电性监控效率,实现高质量量产监控

量产管理的要素

提升可控性
全面监控生产过程,更多监控项+面内全覆盖
建立产品与制造工艺过程的相关性联系


高质量反馈
提前发现问题,提供有针对性反馈
及时响应,追根溯源,降低负面影响
降低成本
占用更少的划片槽面积,提供面积利用率
降低测试时间成本,更加高效的分析方案

三大模块

较传统PCM,广立微Advanced PCM Solution优势明显

  • 有效提升面积利用率。 可匹配Foundry PCM,同时配合广立微可寻址技术,设计单元密度可提升10-1500倍,释放更多划片槽可用面积,用于全面项目监控。
  • 测试更高效。支持Full-map 电性测试, 涵盖所有WAT测量项目,通过设计测试协同优化,测试速度可提升1.4-5x。
  • 配合DataExp 数据分析平台,实现数据分析自动化、流程化、规范化和后台产线数据库的集成。
  • 大量的项目支持,便于更加有效的对PCM 监控结构资料库进行快速迭代。
     

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设计

  • 可寻址方案可大幅提高设计效率+面积利用率
    典型的测试结构(HOL, device等)面积利用率提升大于10倍;
    用于ppm-level device outlier 表征的Dense Array,面积利用率提升大于1000倍

相关产品:ATCompiler   Dense Array 

 

测试芯片类型 单个DUT
结构面积
光罩面积
利用率提升
传统测试芯片 15000μm2 /
可寻址测试芯片 625μm2 10~30X
超高密度阵列 10μm2 >1500X

 

测试

  • 支持量产WAT测试的需求,EAP自动化流程上线
  • 通过了严格的数据匹配,WAT 测试机市场普及率高
  • 机台软硬件系统开发完善,功能迭代快速
  • 对比传统测试效率,具有1.4X-5X的优势
  • 通过和自研设计的协同,测试效率可以提升到 3-10倍

相关产品:WAT Tester

 

测试芯片类型 常规测试速度 Semitronix
测试机
测试速度
传统测试芯片 1X 1.4~5X
可寻址测试芯片 1X 3~10X
超高密度阵列 1X 100~1000X

数据分析

  • DataExp 数据分析平台,实现数据分析自动化、流程化、规范化和后台产线数据库的集成。
  • 分析的重点从传统单个数据的规格(USL/LSL) 控制,提升为从数据关系中,分辨可操作的物理变化和来源。

相关产品:DataExp-General   DataExp-YMS   DataExp-TMA

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