DE-DMS
缺陷管理分析系统
DE-DMS简介
半导体晶圆生产过程会产生各种缺陷，所以在制程中设有多道缺陷检测(inspection)，因而获得大量的数据，包括图片。高效精准的分析及缺陷溯源对良率提升具有重要意义。
广立微DataExp-DMS (简称DE-DMS)是缺陷数据管理与分析的解决方案，系统收集检测机台的缺陷数据及图片，针对这些数据进行快速分析、分类，并结合DE-YMS 良率分析系统查找缺陷形成的根因。目前DE-DMS系统已在国内晶圆大厂部署、验证，获得客户认可。
广立微DataExp-DMS (简称DE-DMS)是缺陷数据管理与分析的解决方案，系统收集检测机台的缺陷数据及图片，针对这些数据进行快速分析、分类，并结合DE-YMS 良率分析系统查找缺陷形成的根因。目前DE-DMS系统已在国内晶圆大厂部署、验证，获得客户认可。
主要功能
