在制造过程中，设备效率和稳定性及工艺的一致性是确保高产品质量和产量的重要因素。广立微DataExp-FDC(简称DE-FDC)系统与设备及MES建立通讯，收集设备中传感器的 Raw Trace数据，并从中提取有效表征因子，监控整个生产过程中的设备运行，提供预警和实时调优，保证生产工艺的稳定性。同时FDC收集的大量设备数据和良率分析系统 (YMS)结合，通过大数据机器学习可以帮助快速找到良率问题的根因，并反馈到产线及时修正。除此之外，与Inine量测建立的有效模型，使Fab可及时调整采样策略，减少CycleTime和优化测量设备使用，在保证监控灵敏度的同时降低成本。